磁盘空间不足。
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多弧离子镀技术的核心是电弧蒸发源。该新型蒸发源是冷阴极电弧放电自蒸发自电离固体蒸发源。与其他传统离子镀蒸发源相比，它具有以下显着特征：1高沉积速率，TiN可达100nm / s〜1000nm / s，
2019-10-18
为了使液氦冷凝水泵实用，必须增加泵的使用寿命，即延长液氦充注后的储存时间。由于液氦的焓极低且泵的结构复杂，如果不采取有效的屏蔽和保护措施，液氦的消耗将相当可观，并且使用寿命甚至只有几个小时（取决于泵的
2019-10-17
调节的抽气和排气是一个与压力表的历史和操作条件有关的变量，必须研究其对测量值的影响。图11-80显示了通过导管连接到系统的真空计，以说明由真空计导管引起的误差。由调节的泵送或排气引起的焓变化率是P2
2019-10-16
表8-25显示了EHA椭圆头的内部表面积和体积。表8-26列出了EHA椭圆头的质量。表8-27显示了EHB椭圆头的内部表面积，体积和质量
2019-10-14
图9-14是the炉真空系统的示意图。真空室的直径为500mm。主泵为溅射离子泵-钛热升华泵组，抽速为4倍，10 ^ 3L / s。真空室的极限真空度为2x10 ^ -7Pa，工作压力为10x-5Pa
2019-10-11
泵送腐蚀性过程气体时，存在气体可能损坏泵组件的风险。为了避免这种危险，必须使用连续的惰性气体流来保护敏感组件。因此，泵体配备有特殊的进气系统，通过该进气系统，气体在指定位置流入泵系统。在涡轮分子泵中，
2019-10-10
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